旋转芯片机械泵主要由泵体和电机两部分组成。

　旋转旋转时的几个典型工作位置。在旋转过程中，涡流将空腔和旋转器之间的弯曲的月形体积分为两部分（有时是三个部分）：一部分是连接出口阀的排气腔，另一个是连接内管的吸气腔。在上一个工作周期中逐渐压缩吸入气体的同时吸气。吸气切断（此时吸气腔最大）将开始压缩。吸气腔再次吸入，排气腔继续压缩。排气腔中的气体被压缩到多个大气的压力，因此它可以打开排水防酸自吸泵门并逃逸到大气中，吸气腔开始下一次吸入。所以来回。

　工作时，轮回随涡流连续旋转，气体不断排出以完成泵送动作。玫瑰花带速度一般为 450 至 1400r/min。如果旋转速度较快，泵送速度越大，但在高速下泵内温度较高，保证密封难度较大。为了确保排气和吸气腔之间没有泄漏，使用蒸汽压力低和一定粘度的机械泵油作为密封填充间隙。泵油的其他三个功能是润滑、冷却和帮助在低排气水平下打开出口阀；当糜屯ü厥獾挠吐方肴颂灞们。因此，此泵也称为油封旋转机械泵。

　上述单级泵一般可获得极限压力P约为1Pa，这主要受罗顿密封和腔接触区泄漏的限制，漏气量直接小于密封现场两侧的压力差。单级泵的这种压力差是大气压力。为了减少这种压力差，提高极限真空，旋转芯片机械泵一般采用两级泵结构。两个泵以相同的速度和方向以相同的速度和方向轮流旋转，当前泵处于吸力位置时，后泵就在排气中，从而减少后泵圈和腔接触区密封之间的压力差。

　两级泵可以达到的极限压力约为 10-2Pa 级，这主要取决于泵油的饱和蒸汽压力以及油在使用过程中受到的污染和裂变。两级泵结构主要用于提高泵的P值，这有助于提高泵的最大泵送速度，但可以改善泄漏后在低压下泵速。